東信高科真空等離子清洗機系統維護及保養

東信高科等離子清洗機系統維護及保養手冊

9.3.1檢查真空系統油泵和鼓風(fēng)機

許多與真空系統相關(guān)的問(wèn)題都出自真空泵油。為了確認它在一個(gè)適當的水平和是否無(wú)污染，定期檢查石油水平是非常有必要的。臟和石油不足都會(huì )導致較差的真空泵性能。污油也會(huì )性能降低。

一些等離子體的處理可能會(huì )造成更大程度的泵油污染，因此額外的個(gè)人防護設備是有必要的。

泵油應該被更換至少一年一次，如果機器得到大量使用，這將造成大量的污油，因此泵油盡可能的每?jì)蓚€(gè)月更換一次，并且泵油要每個(gè)月至少檢查一次。

檢查泵油,執行下面的步驟:

1.關(guān)掉裝置

2.打開(kāi)前門(mén)

3.定位泵油位窺鏡,并確保石油水平在最大值和最小值之間。

注意：泵油是一種對皮膚和眼睛的刺激物，在更換泵油的時(shí)候要注意個(gè)人防護措施。

更換泵油,執行下面的步驟:

1.等待15分鐘是泵油稍微冷卻然后操作，泵油不可過(guò)冷，不然會(huì )不好移除。

2.排泄石油壓強，使之達到標準大氣壓強

3.斷開(kāi)泵油系統，用干氮清除泵內殘留有毒或含腐蝕性氣體。

4.向泵油塞方向傾斜

5.旋松排油管,瀉油。

6.安好泵塞運行泵大約10秒鐘，打開(kāi)進(jìn)氣口這會(huì )使泵油從泵中移除。

7.再次通過(guò)移除塞瀉油。

8.換好新的泵油然后上好泵塞。

注意：換油時(shí)一定要關(guān)閉等離子體系統電源。

9.3.2 檢測真空泄漏

真空泄漏常?？梢园l(fā)現通過(guò)使用異丙醇。通過(guò)擦洗揮發(fā)性液體檢查可疑部件，真空泄露會(huì )吸入蒸汽從而導致顯示面板上壓力增大，增加5毫托或更多的，表示存在一個(gè)錯誤的真空組件或連接。檢測小泄漏保持流動(dòng)的異丙醇的組件或連接約10是有必要的。小泄漏將不會(huì )顯示快速變濕，流動(dòng)的異丙醇應該覆蓋在整個(gè)相關(guān)組件上，當使用異丙醇是應避免接觸任何有標簽的部位，因為可能會(huì )導致刻字消失

9.3.3清洗反應室

使用者應該每天檢查任何污垢和外來(lái)物質(zhì)。

當清洗機室時(shí)使用手套和保護眼睛

警告:清洗機室后,總是產(chǎn)生純氬或氧等離子體應該在高功率下消除至少15分鐘確保清潔室無(wú)視覺(jué)跡象

1.泵室減少到最低可以達到的壓力并且記錄數據。

2.在4000瓦和300毫托條件下生成氧等離子體15分鐘

3.在4000瓦和250毫托條件下生成氧等離子體15分鐘

4.泵室第二次減少到最低可以達到的壓力并且記錄數據，比較這個(gè)值和第一個(gè)值，一個(gè)顯著(zhù)減少在兩比較之間則暗示清潔室發(fā)生了故障在等離子機運行工作時(shí)。

5.重復這個(gè)過(guò)程,直到?jīng)]有明顯區別是指出最低基地壓力從一個(gè)測試值到下一個(gè)。

注意：使用CF4或類(lèi)似的氣體會(huì )引起涂料的反應室和它的組件與這些氣體的副產(chǎn)品，當使用這些類(lèi)型的氣體處理等離子機時(shí)，清洗方案必須經(jīng)常重復直至刪除副產(chǎn)品，因為他們將很容易再沉積到干凈的表面。

9.3.4  檢查真空裝置的完整性

有必要定期檢查真空系統的完整性，這種檢查應該在徹底的清洗反應室之后，以避免污染物或者真空脫氣泄露。

手動(dòng)檢查步驟：

1.在主菜單中,按手動(dòng)模式按鈕來(lái)選擇手動(dòng)模式

2.在手動(dòng)模式屏幕,按下真空開(kāi)/關(guān)按鈕打開(kāi)真空閥室

3.觀(guān)察基礎氣壓，讀取列表在屏幕右邊，在5分鐘內它應該低于100毫托。

4.等20分鐘,使任何殘留的水分退出系統。

5.記錄最終的壓力。

6.按下真空開(kāi)/關(guān)按鈕來(lái)關(guān)閉真空閥到室。

7.觀(guān)察基礎壓力。

如果系統沒(méi)有真空密閉的，壓力值會(huì )慢慢上升，根據泄露比例系統壓力上升不會(huì )超過(guò)30豪托每分鐘。

為了確保最佳性能和系統的優(yōu)良性能，應該成功的運行真空系統進(jìn)行檢測，如果任何不符合點(diǎn)被檢查出，應該及時(shí)檢查室墊圈（在塑料門(mén)附近）。有時(shí)灰塵和污染物覆蓋在墊片上，也要檢查連接在里面的電子內閣是否有明顯的損壞或泄露。

9.3.5 檢查輸氣管道完整性

確定氣線(xiàn)的完整性，只需打開(kāi)氣瓶的閥，并很快再次關(guān)閉它。如果壓力讀數在一分鐘內調節值，有大量泄漏，可能是危險的。

9.3.6 檢查電源連接

所有的等離子體系統的運作，利用雙浮動(dòng)功率輸出每個(gè)輸出總線(xiàn)電極的母線(xiàn)連接電極是由一個(gè)不銹鋼夾和一個(gè)M –4螺釘，螺釘應定期檢查密封性保證電極的母線(xiàn)連接的安全性

9.3.7清洗風(fēng)機過(guò)濾器

風(fēng)扇和過(guò)濾器，位于系統的頂部和底部，保護系統，需要定期清洗去除灰塵和皮棉。堵塞的過(guò)濾器，會(huì )導致熱量積聚。

清潔過(guò)濾器執行以下步驟：

1.通過(guò)拆除四個(gè)螺絲分離過(guò)濾器的風(fēng)扇。

2.用壓縮空氣吹洗過(guò)濾器，如果過(guò)濾器非常臟，需要用肥皂水清洗然后用壓縮空氣吹洗。

3.更換墊片和過(guò)濾器，確保螺絲孔窩，突出的屏幕的一側是朝外。（過(guò)濾器應被檢查清洗每月一次，這個(gè)任務(wù)可能在大約二十分鐘。技術(shù)援助或更換零件，請聯(lián)系等離子體系統的客戶(hù)服務(wù)部）。

9.3.8檢查室門(mén)墊圈

保持性能良好的真空反應室，室門(mén)墊圈是必不可少的

警告:潛在的燃燒危險!

警告:反應室墊圈會(huì )導致系統真空泄漏。當檢查有任何裂紋或碎片在密封表面和外部密封焊道里面。請及時(shí)更換。這個(gè)墊圈的平均壽命是8到12個(gè)月。

檢查室墊片,執行下面的步驟:

1 從反應室小心的把墊片移除下來(lái)。

2 拉開(kāi)雙方檢查裂縫內密封表面。如果有裂縫,無(wú)論多么小,都要更換密封墊。

3 檢查在外面密封焊道上是否有裂縫。如果有發(fā)現,更換密封墊。

4 檢查墊圈外是否有破碎小顆粒。如果有必須清洗墊圈。墊圈可以用溫肥皂水清洗后，再使用酒精進(jìn)行一個(gè)徹底的清洗。

5 檢查墊圈是否有惡化癥狀。這是一種粉狀物質(zhì),通常在表面的墊片。重度惡化會(huì )使墊圈會(huì )變得脆弱。這些表明,硅橡膠被破壞了。墊圈可以清洗(第4步中所述) 只要不存在裂縫可以一直使用。

9.3.9 觀(guān)察窗口/ 機器維護

觀(guān)察窗口由玻璃制成(12.7毫米厚)。如它需要更換時(shí)請聯(lián)系東信高科工程技術(shù)人員。

9.3.10 射頻發(fā)生器維護

定期檢查后面的裝置是否有灰塵或被腐蝕。

每六(6)個(gè)月檢查一次是否有松散的電氣連接。

9.3.11 電極維護

1 電極是一個(gè)有磨損項目。適當的維護，可以使電極的壽命擴展到最大的預期使用。

2 當漿水用于處理烴類(lèi)原料，薄涂層殘留往往停留在電極一段時(shí)間。在早期階段，這種涂層不影響運行的設備和最后的產(chǎn)品。但在在連續操作下，微妙但重大的變化可以被檢測到

3 確保正確操作設備，我們建議電極每6月或1000小時(shí)操作就進(jìn)行一次污染處理。使用以下過(guò)程，消除污染不影響電極的性能。

材料要求

氫氧化鈉

硫酸

蒸餾水

注意：這些材料腐蝕性，有毒和危險。

只有經(jīng)過(guò)適當的安全預防措施的有相應的訓練的人員才能進(jìn)行處理。不要使用任何機械清潔電極，如鋼絲刷，砂紙，或研磨拋丸這將導致泄漏和/或縮短他們的生命。

清潔電極:

1、確定每個(gè)電極下負極，使它們可以被安裝在正確的位置

2、取出電極，輕輕擦試污染物，使其完全干燥。

3、正確組裝電極。