在線(xiàn)式等離子清洗機產(chǎn)品介紹：
目前, 等離子清洗設備主要有批量式及在線(xiàn)式兩種。在線(xiàn)式等離子清洗機采用自動(dòng)的清洗方式, 適用于大規模的生產(chǎn)線(xiàn), 節省人工, 降低勞動(dòng)力成本, 大大縮短了整個(gè)工藝流程的時(shí)間, 使清洗效率獲得極大的提高, 優(yōu)勢最為明顯。
這些優(yōu)點(diǎn)主要與在線(xiàn)式等離子清洗機的工藝及設備腔體結構有關(guān), 高自動(dòng)化的在線(xiàn)式等離子清洗屬于非遮擋式清洗, 無(wú)人為的二次污染及靜電損傷, 被清洗工件自動(dòng)放置在腔底的陶瓷懸浮極上, 各個(gè)位置等離子體條件均勻一致, 短短的時(shí)間內就能夠達到要求的清洗效果。由于清洗時(shí)間短, 腔體內部溫升小, 所以無(wú)濺射及過(guò)熱損傷,。
在線(xiàn)式等離子清洗機清洗原理：
等離子清洗分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。針對不同的清洗對象可選擇O2、H2和Ar等工藝氣體進(jìn)行短暫的表面處理。
1.1 化學(xué)反應為主的清洗
利用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機物等做化學(xué)反應, 又稱(chēng)PE。采用氧氣進(jìn)行清洗, 使非揮發(fā)性的有機物變成易揮發(fā)的形態(tài), 產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水?；瘜W(xué)清洗的優(yōu)點(diǎn)是清潔速度高、選擇性好和對清洗有機污染物比較有效, 主要缺點(diǎn)是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引線(xiàn)鍵合工藝中, 氧化物是最不希望有的, 這些缺點(diǎn)可以通過(guò)適當選擇工藝參數進(jìn)行避免。
1.2 物理反應為主的清洗
利用等離子體里的離子做純物理的撞擊, 把材料表面附著(zhù)的原子打掉, 也稱(chēng)為濺射腐蝕 (SPE) 。采用氬氣進(jìn)行清洗, 氬離子以足夠的能量轟擊器件表面, 撞擊力足以去除任何污垢。聚合物中的大分子化學(xué)鍵分離成小分子而汽化, 通過(guò)真空泵排出。同時(shí)經(jīng)過(guò)氬等離子清洗后, 能夠改變材料表面的微觀(guān)形態(tài), 使材料在分子級范圍內變得更加“粗糙”, 可大幅改善表面活性, 提高表面的粘結性能。氬等離子的優(yōu)點(diǎn)是清理材料表面不會(huì )留下任何氧化物。缺點(diǎn)是可能發(fā)生過(guò)量腐蝕或污染物顆粒重新積聚在其他不希望的區域, 但是這些缺點(diǎn)可通過(guò)細調工藝參數得到控制。
1.3 物理化學(xué)反應同時(shí)存在的清洗
反應中物理反應與化學(xué)反應均起重要作用的清洗。
如采用Ar和O2的混合氣體進(jìn)行在線(xiàn)式等離子清洗過(guò)程時(shí), 反應速率比單獨使用Ar或O2都要快。氬離子被加速后, 產(chǎn)生的動(dòng)能又能提高氧離子的反應能力, 因此用物理化學(xué)方法可清除污染較為嚴重的材料表面。
隨著(zhù)微電子封裝向小型化方向發(fā)展, 表面清洗的要求越來(lái)越高, 在線(xiàn)式等離子清洗的諸多優(yōu)點(diǎn), 將使它成為表面清洗工藝最好的選擇方案之一, 作為最有發(fā)展潛力的清洗方式, 將被應用于越來(lái)越多的領(lǐng)域。同時(shí), 在線(xiàn)式等離子清洗機非常有利于環(huán)境保護, 清洗后不會(huì )產(chǎn)生有害污染物, 這在全球高度關(guān)注環(huán)保意識的情況下越發(fā)顯示出它的重要性。
