小型石英等離子清洗機安裝與操作說(shuō)明

小型石英等離子清洗機設備安裝與操作使用說(shuō)明如下：

5.1初始安裝時(shí),遵循下列步驟：

第一步： 連接好等離子清洗機與真空泵之間的真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不漏氣。

第二步： 接通供電電源和真空泵電源,在此之前檢查所有按鈕必須處于復位狀態(tài),同時(shí)檢查所供電源插座的L、N、E的接線(xiàn)是否與機箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發(fā)生危險動(dòng)作。

第三步： 第一次開(kāi)機,不做其它操作，直接打開(kāi)機體上紅色電源開(kāi)關(guān)、真空泵開(kāi)關(guān)，輕輕推關(guān)腔門(mén)，然后按綠色啟動(dòng)鍵抽真空，目的是去潮除濕，同時(shí)檢查是否有漏氣部位：聽(tīng)漏氣聲響；拉動(dòng)真空倉門(mén)是否密封；觀(guān)察壓力表到達-100Kpa左右；若無(wú)上述狀況即為正常

第四步： A、打開(kāi)電源，先在顯示屏里設定清洗時(shí)間；

B、將托盤(pán)承載的產(chǎn)品放入反應室內；

C、輕推反應腔門(mén)，按面板上綠色啟動(dòng)開(kāi)關(guān)，真空泵開(kāi)始工作。

D、壓力表真空值-101KPa左右，看到離子輝光放電現象，進(jìn)入處理狀態(tài)；同時(shí)可設定功率大小、反應氣體注入量；（反應氣體是根據工藝需求選配，不使用時(shí)鎖緊關(guān)閉，）

5.3 使用操作步驟

5.3.1 自動(dòng)狀態(tài)下運行處理

（圖5.3.1主機界面）

（圖5.3.2功能畫(huà)面）

（圖5.3.3參數畫(huà)面）

1. 進(jìn)入“主機界面”（圖5.3.1主機界面），點(diǎn)擊“下一頁(yè)”進(jìn)入“功能畫(huà)面”（圖5.3.2功能畫(huà)面）選擇“參數頁(yè)面”（圖5.3.3參數畫(huà)面）修改清洗時(shí)間或清除清洗數據。

2. 點(diǎn)擊“下一頁(yè)”進(jìn)入“手動(dòng)頁(yè)面”將氧氣氬氣閥門(mén)設置為打開(kāi)狀態(tài)，返回主機界面。

3. 調節功率，功率調節范圍80%-100%，根據實(shí)驗需求進(jìn)行調節。

4. 將被處理物放置真空腔內，關(guān)好腔門(mén)，按下啟動(dòng)按鈕，開(kāi)始抽真空。

5. 待腔體產(chǎn)生輝光，根據實(shí)驗需求，手動(dòng)調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。

6. 到達處理時(shí)間后，平衡閥自動(dòng)復原，3秒左右恢復常壓，無(wú)進(jìn)氣聲響時(shí)，腔門(mén)自動(dòng)打開(kāi)。

7. 打開(kāi)腔門(mén)，取出被處理物，一個(gè)處理過(guò)程結束。

____以上各命令都可在鍵下終止，回到復位狀態(tài)。所有數字量都可自由調整，確認鍵后記憶保存，斷電不丟。

5.4手動(dòng)狀態(tài)下運行處理

（5.4.1手動(dòng)狀態(tài)下操作頁(yè)面）

1. 調節功率，功率調節范圍80%-100%，根據實(shí)驗需求進(jìn)行調節。

2. 將被處理物體放置到倉內，關(guān)好倉門(mén)，按下啟動(dòng)鈕，開(kāi)始抽真空。

3. 真空度達到要求時(shí)，按下射頻電源鈕（打開(kāi)狀態(tài)為：黃色燈亮“開(kāi)”），加入射頻高壓，處理過(guò)程開(kāi)始。

4. 待腔體產(chǎn)生輝光，根據實(shí)驗需求，打開(kāi)氧氣氬氣閥門(mén)開(kāi)關(guān)（打開(kāi)狀態(tài)為：黃色燈亮“開(kāi)”），手動(dòng)調節流量計旋鈕添加輔助性氣體。

5. 到達處理時(shí)間后，復原平衡閥鈕，3秒左右恢復常壓，無(wú)進(jìn)氣聲響時(shí)，腔門(mén)自動(dòng)打開(kāi)。

6. 打開(kāi)腔門(mén)，取出被處理物，一個(gè)處理過(guò)程結束。

在手動(dòng)狀態(tài)下，可設定氧氣閥、氬氣閥、真空泵、射頻電源、平衡閥的開(kāi)關(guān)選擇，進(jìn)行數據工作。

5.5氣體使用注意事項：

①在觸摸屏的手動(dòng)畫(huà)面打開(kāi)氣閥；

②腔內激發(fā)輝光后，再扭開(kāi)流量計注入；

③兩路氣體，機體前面板上的流量計與機體背面的氣孔口為對應一致接入工作；